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    BALLUFF晶圓映射傳感器 – 在狹隘的空間內保障高精度

    發布時間: 2020-09-10  點擊次數: 1630次

     晶圓映射傳感器 – 在狹隘的空間內保障高精度

    可集成到末端執行器內,非常適合晶圓映射

    為滿足您的晶圓映射需求,巴魯夫提供高精度光電傳感器,可完美集成到末端執行器內。我們的映射傳感器經過專門設計,適合極薄的末端執行器,傳感器的光斑均勻且受控性和聚光性*,因此,該傳感器可識別甚至只有幾微米厚度的晶圓,精度*。該傳感器能可靠識別整個卡槽,重疊的晶圓或歪斜的晶圓能始終得到識別。

    映射傳感器基于光電Micromote技術,它將一個極小的光學傳感器頭與外部處理單元(放大器)組合到一起,兩者通過高柔性電纜連接。這意味著您可以將傳感器應用于任何機械安裝方式,與其他Micromote傳感器一樣。

    特點

    • 傳感器電纜非常緊湊、柔韌性高
    • 多功能傳感器頭
    • 使用BAE外部放大器,靈活性好,適用于各種應用

     

     

    晶圓映射傳感器 – 在狹隘的空間內保障高精度

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