美國(guó)派克SMSQ2MICRO30102超高純束縛膜片減壓閥工作原理

美國(guó)派克SMSQ2MICRO30102超高純束縛膜片減壓閥產(chǎn)品解析：

UHP 超高純束縛膜片減壓閥 (壓力高達(dá) 250 psig) – SMSQ2Micro系列

零件#: SMSQ2MICRO30102

派克Veriflo產(chǎn)品組SMSQ2Micro (0.06 Cv)和SMSQ2Micro130E (0.15 Cv)是市場(chǎng)上先進(jìn)的微型超高純減壓閥。產(chǎn)品提供精密且穩(wěn)定的壓力控制，提高了MFC（質(zhì)量流量控制器）的性能，這對(duì)半導(dǎo)體生產(chǎn)的重復(fù)性和產(chǎn)量至關(guān)重要。產(chǎn)品同樣表現(xiàn)出優(yōu)異的泄露完整性和底粒子生成，以減少對(duì)半導(dǎo)體應(yīng)用中至關(guān)重要的的過程污染.

減壓閥適用于惰性氣體和腐蝕性氣體，為階躍函數(shù)流量需求變化提高出色響應(yīng)。產(chǎn)品采用自動(dòng)定心束縛膜片設(shè)計(jì)，提供穩(wěn)定閥座密封和壓力調(diào)節(jié)。沒有閥芯彈簧和閥座滯留螺紋，這樣大限度減少粒子生成和截留，進(jìn)一步提高工藝清潔度和吹掃性能.

SMSQ2Micro接液部件由特殊金屬制備，提供優(yōu)異的耐腐蝕性和泄漏完整性。閥體材料為內(nèi)部電解拋光 Vericlean™ 316L不銹鋼。Vericlean™ 是派克公司的UHP超高純級(jí)不銹鋼。膜片和閥芯材料為哈氏合金 C-22®。這些材料與SMSQ2Micro系列設(shè)計(jì)特點(diǎn)相結(jié)合，使SMSQ2Micro系列具有強(qiáng)耐腐蝕性和更高循環(huán)壽命，入口壓力高達(dá)250.

SMSQ2Micro和SMSQ2Micro130E均采用與量子閥相同間距接口，符合SEMI模塊化接口規(guī)范.

SMSQ2Micro系列減壓閥的內(nèi)部（閥座）密封和金屬外部密封通過氦泄漏測(cè)試，使用質(zhì)譜儀以獲得在苛刻超高純應(yīng)用中的性能和穩(wěn)定性.

美國(guó)派克SMSQ2MICRO30102超高純束縛膜片減壓閥特點(diǎn)和優(yōu)勢(shì):

市場(chǎng):

半導(dǎo)體

分析試驗(yàn)室

航空航天

工業(yè)

有C 和 W密封貼面安裝1-1/8

和1-1/2

閥體尺寸

極低粒子數(shù)

束縛膜片有效減少接液部件的彈簧，增加安全性

SMSQ2Micro0.06 Cv,SMSQ2Micro130E 0.15 Cv

出口壓力范圍： -10 psig 到 60 psig

內(nèi)漏率:≤ 5 x 10-8 scc/sec立方厘米/秒 He

外漏率:≤ 2 x 10-10 scc/sec立方厘米/秒 He

5微英寸(Ra粗糙度)電解拋光表面處理

工作壓力范圍：-40°F 至 +150° F (-40°C 至 +66°C)

美國(guó)派克SMSQ2MICRO30102超高純束縛膜片減壓閥應(yīng)用:

腐蝕性和特殊氣體

半導(dǎo)體工具

工具掛鉤

氣體柜

閥組箱 (VMB)

美國(guó)派克SMSQ2MICRO30102超高純束縛膜片減壓閥及其工作原理:

在現(xiàn)代工業(yè)生產(chǎn)及高科技領(lǐng)域中，對(duì)于氣體或液體介質(zhì)的純凈度和壓力控制有著要求。超高純束縛膜片減壓閥作為一種精密的流體控制設(shè)備，以其結(jié)構(gòu)和性能，在半導(dǎo)體制造、生物制藥、精密儀器及高純氣體供應(yīng)系統(tǒng)等領(lǐng)域得到了廣泛應(yīng)用。本文將詳細(xì)介紹超高純束縛膜片減壓閥及其工作原理。

一、超高純束縛膜片減壓閥概述

超高純束縛膜片減壓閥是一種專門設(shè)計(jì)用于控制超高純度氣體或液體壓力的設(shè)備。它采用特殊材料制成，以確保流體的純凈度不受污染，并且具有減壓精度和穩(wěn)定性。這種減壓閥通過精確調(diào)節(jié)膜片的運(yùn)動(dòng)來控制管道內(nèi)流體的壓力，使其保持在設(shè)定的安全范圍內(nèi)，防止因壓力過高導(dǎo)致的設(shè)備損壞或流體泄漏。

二、超高純束縛膜片減壓閥的結(jié)構(gòu)

超高純束縛膜片減壓閥主要由主體、彈簧、閥芯、束縛膜片及連接部件等構(gòu)成。其中，主體作為閥門的外殼，采用耐腐蝕、易清潔的材料制成，以確保流體的純凈度。彈簧提供恒定的壓力，用于對(duì)抗流體壓力，并通過調(diào)節(jié)其緊度來控制減壓精度。閥芯是調(diào)節(jié)流通截面積的關(guān)鍵部件，通過移動(dòng)來改變流體流速。束縛膜片則是感應(yīng)壓力變化并傳導(dǎo)給閥芯的重要部件，其材質(zhì)需具備高彈性、耐腐蝕和耐磨損等特性。

三、超高純束縛膜片減壓閥的工作原理

超高純束縛膜片減壓閥的工作原理基于壓力平衡和膜片變形原理。具體來說，當(dāng)管道內(nèi)的流體壓力超過設(shè)定值時(shí)，彈簧會(huì)推動(dòng)閥芯向關(guān)閉方向移動(dòng)，減小流體通過的截面積，從而降低流速和壓力。這一過程中，束縛膜片作為感應(yīng)元件，感知到壓力變化并作出相應(yīng)變形，將信號(hào)傳遞給閥芯。反之，當(dāng)壓力低于設(shè)定值時(shí)，彈簧會(huì)使閥芯向開啟方向移動(dòng)，增大流體通過的截面積，提高流速和壓力，從而維持管道內(nèi)流體的壓力穩(wěn)定。

在超高純束縛膜片減壓閥中，束縛膜片的設(shè)計(jì)尤為關(guān)鍵。它不僅需要具有高度的靈敏度和準(zhǔn)確性，還需要能夠耐受高純度流體中的腐蝕性物質(zhì)，以保證長(zhǎng)期穩(wěn)定運(yùn)行。此外，為了確保流體的純凈度，減壓閥內(nèi)部的所有部件均經(jīng)過特殊處理，以減少對(duì)流體的污染。

四、超高純束縛膜片減壓閥的應(yīng)用優(yōu)勢(shì)

1. 超高純度：采用特殊材料和工藝制成，確保流體的純凈度不受污染。

2. 高精度減壓：通過精確調(diào)節(jié)膜片的運(yùn)動(dòng)和彈簧的緊度，實(shí)現(xiàn)高精度的減壓控制。

3. 穩(wěn)定性強(qiáng)：結(jié)構(gòu)緊湊、設(shè)計(jì)合理，能夠在各種惡劣環(huán)境下穩(wěn)定運(yùn)行。

4. 易于維護(hù)：一體式閥芯設(shè)計(jì)，便于抽取進(jìn)行清洗或更換，降低維護(hù)成本。

5. 廣泛適用性：適用于半導(dǎo)體制造、生物制藥、精密儀器及高純氣體供應(yīng)系統(tǒng)等多個(gè)領(lǐng)域。

五、美國(guó)派克SMSQ2MICRO30102超高純束縛膜片減壓閥結(jié)論

超高純束縛膜片減壓閥作為現(xiàn)代工業(yè)生產(chǎn)及高科技領(lǐng)域中的重要流體控制設(shè)備，以其結(jié)構(gòu)和性能，在保障流體純凈度和壓力穩(wěn)定方面發(fā)揮著不可替代的作用。隨著科技的進(jìn)步和工業(yè)的發(fā)展，超高純束縛膜片減壓閥將繼續(xù)在更多領(lǐng)域得到應(yīng)用和推廣，為行業(yè)的發(fā)展和進(jìn)步貢獻(xiàn)力量。